Browsing by Subject Gravure plasma

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2013-10-23Étude fondamentale des mécanismes physico-chimiques de gravure plasma basés sur les effets stériques et de diffusion. Comportements prévisionnels de la gravure des éléments de la colonne IV et des composés III-V par les halogènes : lois de similitudePhan, Thanh LongLacoste, Ana, Prof.University of Science and Technology - The University of Danang